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第六十七章 新想法67（第1页）

均匀地在已经氧化好的晶圆上，涂上光刻胶，机器开始工作，DUV被激发，然后通过掩膜落在了晶圆之上。

程铭作为老司机，清楚地看到这个机器其实用的还是多重曝光技术。

DUV的分辨率仅能达到38nm的档次，要用其刻出14nm乃至7nm的宽就得用到多重曝光。

紫外光通过掩膜进行第一次曝光，在用沉积让其加宽加粗，再进行第二次曝光，这样就得到了双重密度的图像。

这种方式其实不算太机密，机密的是实现的工艺手法，而路芒这台机器实现的工艺似乎和目前流传的都不太一样。

在当前工艺下，光刻机可以在极短的时间内对晶进行了四次曝光。

也就是这和其他厂商完全不同的曝光技术保证了其在14nm时拥有相当好的光刻精度。

甚至可以想办法做到5nm！

整个光刻过程是很快的，虽然因为多重曝光，比单次曝光的时长多了一些，但也就五分钟，整个光刻就结束了。

光刻仅仅是将电路设计图刻在了光刻胶上，清洗完之后就可以进行蚀刻了。

蚀刻完，这些电路图才算是正式来到了晶圆上。

下一步便是注入离子在晶圆表面形成数以亿计的晶体管。

后面还得经过热处理，经过镀铜，最后将晶体管全部连接起来，这块芯片才算是初步完成。

一直到了晚上八点钟，程铭终于呼出了一口气，从工作状态中脱离了出来。

而在他手上的正式一块已经被切下来已经完成了封装的芯片。

他带过来的电路设计图，是正儿八经的14nm制程，算是目前夏国攻克14nm稳定产出后就准备上马的芯片项目。

他本来是觉得，按照目前的科研速度，至少也得等个一两年，他手上的设计图才有被用上的可能。

没想到的是，今天，他竟然就拿到了这份设计图做出的成品，这就和在做梦一样。

拿着这块芯片，他狠狠揪了一下自己的胳膊，直到感觉到了疼痛感才让他有些真实感。

“程教授，你出去吃点东西吧，一天没吃饭了。”路芒再次从实验室外面走了进来，有些担心地对着程铭说道。

要是知道面前这个快要六十的老人，工作起来这么不要命，他都不想把他带进来了。

一整天对着控制台，就没有离开过厂房，一会操作光刻机，一会操作后面的蚀刻，路芒每次进来，这位都在忙碌着。

让他去吃饭，也是被他直接轰了出去。

“好啊，是该吃饭了！”

本以为这次程铭也不会答应的路芒，却是听到了程铭的回答声。

路芒一看，这程铭正拿着一小块立方体，满面笑容。

脑筋一转，大概明白应该是成功了。

他脸上也露出了欣喜的笑容，这台光刻机虽然是他亲手搭起来的，脑子里的知识也告诉他，这玩意绝对能轻松驾驭14nm。

但毕竟没有经过实战考验，今天程铭在做的时候，他心里也在不停打鼓。

就怕这台光刻机达不到说明等级，要是这台光刻机达不到说明等级，那也就意味着光刻工厂可能也悬。

纵然是系统出品，但路芒仍然是止不住地担心，这也算是人之常情。

程铭摇摇头：“还不清楚，虽然做是做出来了，但是还没有经过测试，不太清楚这块芯片是不是能正常使用。”

“我们去吃饭吧，我请你，我有一个想法，我们边吃边说。”

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