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第六十六章 芯片实验66（第1页）

早上七点半，路芒觉得自己起的已经够早了，毕竟他高三的时候也就这个点起床了。

只是让他没有想到的是，这个点，在工厂的前面，程铭竟然已经等在了工厂门口了。

这让路芒咯噔一下，让人等这么久可是有些不太好，他赶紧上前几步。

“程教授，程教授，你怎么这么早就过来了，等了很久了吧？”路芒说道。

程铭笑着摆了摆手：“没事，没事，也没多久。”

路芒当然不会相信程铭这句话，一看这程铭的样子就是已经等了些许时间了。

刚才他到厂门口的时候，都看见程铭在厂门口转圈了，显然是等着有些无聊了，怎么可能是刚到的样子。

“程教授，你直接打我电话就好了，我接到就会过来的呀！”路芒略微有些急促地说道，让程铭在门口等了这么久，显然有些不符合他的处事原则。

程铭拍了拍衣服，将眼镜扶正，说道：“我过来已经是打扰你了，也没有等多久，不用放在心上。”

说完，他从手提包中拿出了一张纸条递给了路芒。

路芒接过来一看，是一张检测报告单。

上面下达的结论是，按照鉴别Ⅰ的方法进行检测，该光刻设备精度达到14nm制程。

这是一张没有任何人签名的检测报告单，意味着这张报告单是没有任何法律效应的。

“额，程教授，这是？”路芒有些疑惑地问道。

程铭润了一下嘴唇，看着左右也没有人，说道：“路老师，这是我们实验室对你那块晶圆检测之后得到的结论。”

“从晶圆的雕刻水准来看，应该是达到了14nm的水准，不过由于上面是世界地图，没办法通电检测。”

“路老师，请问这片晶圆真的是这边工厂做出来的么？”

路芒心中一下就清楚了，原来如此。

对于他这块晶圆上的雕刻精度，他是一清二楚的，不过当时程铭似乎对他组装的光刻机没有太大兴趣，所以他在后面也就一直也没怎么提。

“程教授，这确实是出自我自己装的那台光刻机中，你这次来是想看一看我那台光刻机么？”

见路芒提起，程铭也不多说废话了：“对，我确实是为了这台光刻机而来的，请问，你那个光刻机是不是已经来到了14nm的制程？”

“这对夏国很重要，我们目前最缺的就是能制作这个档次芯片的设备。”

“14nm的制程已经足够目前市场使用，虽然比不上那些高端芯片，但至少不会因为芯片断供而出现民生问题。”

“所以，请问，您的光刻机，是不是已经达到了14nm的极紫外光等级！”

看着期待的程铭，路芒却是缓缓摇了摇头：“不是的，我那台光刻机仍然没有达到极紫外光，是深紫外光光刻机。”

闻言，程铭有些失望了，目前夏国在DUV光刻机上还是有技术储备的，并且成功用其制作了28nm制程的芯片，良品率不错，并不算缺。

如果路芒这边的不是EUV，而是DUV，那价值就差了不止一筹，不，应该说一半都不足。

不过，一会后，程铭就释然了，如果路芒能做EUV光刻机，那又何必另辟蹊径去搞光刻厂呢。

光刻厂的投资可是比传统光刻要高多了。

“原来如此，看起来是我们的实验室仪器精度差了一点，出了些偏差。”程铭叹了口气，如此说道。

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