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虽然芯片工厂问题不大,有帝都提供,王逸可以省下几十亿。
但里面的生产线,光刻机等设备,都要王逸自己解决。
这些才是最贵的,保守估计后续投入也得一百五十亿起步。
像是光刻机,2010年阿斯麦就推出了EUV光刻机TWINSCANNXE:3100。
前世,2013年阿斯麦又推出EUV光刻机NXE:3300。
不过这些先进的EUV光刻机,王逸就不考虑了,不现实,不可能对内地企业出售的。
前世中芯国际订购了一台EUV光刻机,花了1.2亿美金,钱都付了,最后因为帝国阻挠,阿斯麦也迟迟没有发货。
相反,内地企业能买到的,也就是落后很多代的DUV光刻机。
比如2016年出的NXT1980Di,是前世内地企业买到的最先进光刻机之一,也是中芯国际主力机型。
更先进的DUV光刻机NXT:2000i,都买不到,更别说NXT:2050i。
NXT1980Di原本用于制造300nm-38nm制程,二重曝光后可以达到19nm制程。
中芯国际,华力等企业,都是用NXT1980Di二重曝光,量产28-19nm的芯片。
同样,要用NXT:1980Di来制造14nm、7nm的芯片,那就得靠多重曝光技术,对厂家的技术要求非常高,量产芯片的成本也很高。
最初,台积电用NXT:1980Di来制造7nm芯片,效果很不理想,良品率低,成本高,最后还是换上EUV光刻机,才实现了完美的7nm。
但中芯国际买不到EUV光刻机,只能硬着头皮用NXT1980Di进行三重曝光,四重曝光,甚至五重曝光。
幸好梁老能力突出,在多重曝光领域造诣颇深,硬是推出N+1、N+2工艺,用NXT1980Di这种落后的光刻机,实现了14nm、10nm,甚至7nm。
梁老的两重曝光技术,不但把中芯国际的28nm良品率从50%提到了90%以上,成本也不会增加太多。
使得中芯国际的28nm工艺大规模量产,能满足大多数芯片需求。
14nm需要三重曝光,凭借梁老的技术,良品率和成本也能保证。
可7nm制程,就要用NXT1980Di四重曝光,技术方面梁老都能解决,但良品率和成本就不好说了。
巧妇难为无米之炊。
拿着NXT1980Di当EUV3300用,真是太强人所难。
不过,在国产光刻机突破之前,这也是迫不得已的办法。
当然,2011年NXT1980Di还没有发布。
王逸当下能买到的光刻机型号,是2009年推出的NXT:1950i,和今年刚推出的NXT:1960Bi。
其实1950i1960Bi1970ci1980Di,这四款光刻机都是同样的光源系统,单次曝光都在38nm以上,多重曝光都能生产28nm、16nm、14nm、12nm,甚至7nm。
后续的NXT:1960Bi、1970Ci、1980Di,不过是在NXT:1950i进行了部分升级,提高了良品率和精度,本质上相差不大。
像是三星台积电的未来几年的28nm、22nm、20nm、16nm、14nm、10nm,很多都是用的NXT:1950i!
毕竟三星、台积电2016年量产10nm芯片的时候,NXT:1980Di光刻机才开始量产!
7nm之前的制程,三星台积电用的都是1950i、1960Bi、1970Ci等老型号。
只要不量产7nm,都没压力。
同样,王逸的12英寸晶圆厂,若是买到NXT:1950i和1960Bi,也能从明年的28nm,一直用到22nm、20nm、16nm、14nm、10nm,甚至7nm。
但今年刚出的1960Bi不太现实,估计阿斯麦不卖。
不过老款的1950i运作一下,还是有希望的。
当下欧美对国内的封锁限制,还不是那么严密。
若是趁机出手,多订一批,那后续就高枕无忧了。
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